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中小型多功能等離子體清洗機PLUTO-30

品牌：上海PLUTOVAC
型號： PLUTO-30
產地：上海浦東新區
供應商報價：面議

上海沛沅儀器設備有限公司更新時間：2025-02-17 10:28:10

銷售范圍售全國

入駐年限第7年

營業執照已審核

同類產品等離子清洗機(4件)

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中小型多功能等離子體清洗機PLUTO-30 核心參數

樣品腔尺寸	300W x 280H x 366Dmm	樣品腔容積	30L
射頻功率	300W/500W	頻率	13.56MHz

產品特點

ZL氣體輸送系統，提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法
不同工藝模式（RIE、下游等離子體等）的柔性電極配置
獨特的射頻系統提供zhuo越的工藝重復性和處理效率
全自動處理能力
圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅動流程并提供實時流程信息
臺式設計需要較小的占地面積

詳細介紹

中小型多功能等離子體清洗機PLUTO-30

中小型量產級多功能

Pluto30是專為研發而設計的全功能等離子體系統，13.56MHz射頻發生器和自動匹配網絡電源在整個過程區域產生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達7個可調節樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統的應用范圍，提供給用戶無與倫比的靈活性。

Pluto30參數
腔體	腔體尺寸	300W x 280H x 366Dmm
	容量	30L
	電極數量	最多可達7層
電極	電極間隙	48mm
	功率電極尺寸	226W x 210D mm
	接地電極尺寸	260W x 210D mm
射頻系統	射頻功率和頻率	300W/13.56MHz
氣體控制	MFC控制器	標配1個MFC，最多4個MFC控制器
系統控制	7寸工業觸控屏	全數字控制，實時顯示工作狀況，可設定操作權限和各種報警值，可儲存工藝方案
真空泵系統	油泵	32m3/h
真空泵系統	功率	220V/10A，50Hz，單相，3線
尺寸	外形尺寸	706W x 804D x 735H mm
特別裝置需求	工藝氣體	0.25英寸. 氣管快接.適用于 15-20psig;
	凈化氣	0.25英寸. 氣管快接. 適用于10-100psig
	CDA	0.25英寸. 氣管快接. 適用于60-90psig
	排氣接口	KF40
可選項	液體前驅體輸送系統
	500W/13.56MHz射頻系統
	37m3/h 干泵
	排氣洗滌器
	油霧消除器