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OCTOPLUS 1000 多波束電子束

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德國Eberl的多波束電子束OCTOPLUS 1000系統,專為最大12英寸SiGe外延生長設計,適用于MBE(分子束外延)工藝。該系統提供高效、高精度的沉積技術,確保高質量薄膜的生長,廣泛應用于半導

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德國Eberl  多波束電子束 OCTOPLUS 1000, 用于最    大 12 英寸基底 SiGe 外延生長的 MBE 系統





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