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AEROTECH精密氣體減壓器Pa-HH
- 品牌：北京中科艾爾
- 型號： Pa-HH
- 產(chǎn)地：北京 朝陽區(qū)
- 供應(yīng)商報價：面議
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中科艾爾（北京）科技有限公司
更新時間：2020-07-31 16:26:11 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品Pa系列(9件)
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- AEROTECH精密氣體減壓器Pa-HH 核心參數(shù)
產(chǎn)品特點
- Pα-HH精密氣體減壓器。單級膜片式設(shè)計；高壓輸入，高壓中等流量輸出，輸出壓力穩(wěn)定；適用于半導(dǎo)體高純氣體、低濃度毒性、低濃度腐蝕性、易燃易爆氣體等。標(biāo)準(zhǔn)流量250L/min。
詳細(xì)介紹
Pα-HH精密氣體減壓器。單級膜片式設(shè)計；高壓輸入，高壓中等流量輸出，輸出壓力穩(wěn)定；適用于半導(dǎo)體高純氣體、低濃度毒性、低濃度腐蝕性、易燃易爆氣體等。標(biāo)準(zhǔn)流量250L/min。
工作條件：
進口壓力 15MPa 出口壓力 0～12MPa CV值 0.02 爆破壓力 40MPa 原壓變動 0.007MPa （入口壓力變化0.1MPa時，出口壓力的變化量）
溫度 -10～+70℃ 外漏率 ≤1×10-9Pa.M3/Sec.He 安裝方式 后面板安裝 產(chǎn)品特點：
柔性膜片結(jié)構(gòu)，調(diào)節(jié)順暢，流量損失小
單級式減壓，死體積小，便于吹掃
進口出口可以加裝其他附件
主要部件電解拋光處理，增加腐蝕性
內(nèi)置精密過濾器，保證氣體潔凈
超純水清洗
主要部件材料：
零部件名稱 Part 材料（Materials） 后蓋 Bonnet SUS316 閥體 Body SUS316L 閥針 Poppet SUS316L 膜片 Diaphragm SUS316L 密封墊 Seat PTFE、PCTFE或PEEK
| 最大輸入壓力 | 15MPa | 最大輸出壓力 | 0～12MPa |
| 環(huán)境溫度 | -10～+70℃ |
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號