Trek 645軟件驅(qū)動靜電卡盤電源的使用記錄顯示，客戶的效率和吞吐量提高了三倍，是其他電源的三倍。Trek 645幾乎消除了粘性晶圓和晶圓爆裂問題，從而確保更好地控制顆粒污染。鑒于Trek 645的多功能性和性能，它可以用于多種獨特的工具/工藝，從而消除了為設施中的每個獨特工具/工藝指定新供應的需要。

產(chǎn)品亮點

可鎖定的前面板控制界面

每臺設備均提供 NIST 可追溯校準證書

支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術(shù)

將靜電吸盤輪廓上傳并存儲到裝置中，并通過用戶友好的軟件界面進行內(nèi)部存儲

晶圓檢測包括無晶圓、晶圓存在或晶圓夾緊狀態(tài)

減少背面氣體錯誤，提高吞吐量，并消除晶圓粘滯/爆裂問題

控制參數(shù)，如過流、晶圓存在和晶圓箝位閾值、箝位電壓、偏移電壓和內(nèi)部或外部幅度/偏移控制

調(diào)整過程中的振幅/偏移和輸出控制的多功能性

使用后面板 I/O、串行計算機命令或前面板控件控制輸出

配置自定義夾緊和夾緊序列和波形

產(chǎn)品規(guī)格