· 型號：SR300

· 探測器： 2048像素的CCD線陣列

· 光源：高穩定性、長壽命的鹵素燈

· 光傳送方式：光纖

· 臺架平臺：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調節樣品重量、200mmx200mm的大小

· 軟件： TFProbe 2.2版本的軟件

· 通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連

· 測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率 

· 電腦硬件要求：P3以上、zuidi50 MB的空間

· 電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A

· 保修：一年的整機及零備件保修

選項

1用于傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR300RT) )

2.zuidi可測量直徑為5μm(MSP300)

3. 在多個位置下，多個通道用于同時測量(SR300xX)

4. 在超過200或300毫米晶片上所進行的統一測繪（SRM300-300/200）

規格： 

· 波長范圍：400到1100 nm

· 光斑尺寸：500μm至5mm

· 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm

· 基板尺寸：最多可至50毫米厚

· 測量厚度范圍：20nm到50μm

· 測量時間：最快2毫秒 

· 精確度：優于0.5％（通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較）

· 重復性誤差：小于1?

應用:                  

?半導體制造（PR，Oxide, Nitride..) 

?液晶顯示（ITO，PR，cell gap... ..） 

?醫學，生物薄膜及材料領域等

?油墨，礦物學，顏料，墨粉

?醫藥，中間設備

?光學涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. 

?半導體化合物

?在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜

?非晶體，納米材料和結晶硅

………

薄膜物性分析儀器系列（膜厚，光學參數，反射譜及顏色，膜面阻，等）

SR100 薄膜分析儀

SR300 薄膜分析儀

SR500 薄膜分析儀

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uRaman  TechnoSpex-拉曼光譜儀及模塊