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產(chǎn)品中心

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BM600G-4P探針顯微冷熱臺(tái)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

BM600G-4P探針冷熱臺(tái)是一款針對(duì)半導(dǎo)體芯片研發(fā),測(cè)試而專門設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。熱臺(tái)擁有高精度的探針位移平臺(tái)。

詳細(xì)介紹

主要參數(shù)

  • 溫度范圍 -190℃℃~600℃;加熱區(qū):φ30mm
  • 探針行程13mm;探針位移精度 1um;探針針尖直徑(默認(rèn))100um
  • 物鏡工作距離15mm;通光孔直徑:2mm;觀察窗:φ40mm
  • ZD升溫速率150°C/min;最慢升溫速率0.1°C/min;溫控精度 :0.1℃
  • 支持反射/透射模式支持改動(dòng)和定制上位機(jī)軟件控制

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