產品信息
特 點
●膜厚測量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）
●膜厚值高重復精度
●1點1秒以內的高速測量
●最小小點Φ3μm）中瞄準模式
●最適合圖案晶片的膜厚映射
●能夠取得圖案對準用圖像
裝置組裝示意圖
測量數據示意圖
測量光點周邊圖像
適應過程示例
CMP工藝
蝕刻工藝
成膜工藝等
式樣
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OPTM series 嵌入型
- 品牌：上海波銘
- 產地：上海 浦東新區
- 供應商報價：面議
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上海波銘科學儀器有限公司
更新時間：2025-03-06 12:24:27 -
銷售范圍售全國
入駐年限第5年
營業執照已審核
- 同類產品顯微缺陷膜厚(27件)
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產品特點
- 利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點，在線提供制作晶片圖案后的微小區域測量等膜厚信息。
詳細介紹
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滬公網安備 31011502008050號