微光顯微鏡PHEMOS系列

PHEMOS-1000是一款標準型高分辨率微光顯微鏡，其包含了一個紅外共焦激光顯微鏡。PHEMOS-1000可根據設備環境和設備裝置來靈活改變包括插座板到300mm雙面晶片探針等等的部件。它還可以適配高靈敏度近紅外相機和高分辨率納米透鏡等選配件。該顯微鏡有多種選配，包括紅外-光致阻值改變（IR-OBIRCH）分析、與大規模集成電路測試機連接和CAD導航功能等，這些選配有助于該顯微鏡處理多種測量需要。

黑盒照明燈含水銀，請根據當地法規處理。

特性

• 可選配適用于高分辨率、高靈敏度觀測的納米透鏡

• 紅外共焦激光顯微鏡

• 紅外-光致阻值改變（IR-OBIRCH）分析功能（選配）

• 低電壓樣品用高靈敏度近紅外相機（選配）

• 數字lock-in組件加強紅外-光致阻值改變的檢測能力（選配）

• 可安裝300mm雙面半自動探針

顯示功能

PHEMOS-1000將發光圖像疊加到高分辨率模板圖像上來快速定位缺陷點。對比度增強功能可使圖像更清晰，細節更多。
顯示功能

• 注釋
  圖像的任何位置都可以顯示評論、箭頭等注釋符號。

• 比例顯示
  可使用分段，在圖像上顯示比例寬度。

• 柵格顯示
  圖像上可現實水平和垂直柵格。

• 縮略圖顯示
  圖像可以以縮略圖的形式存儲和調用，stage坐標等圖像信息也可顯示。

• 分屏顯示
  模板圖像、發光圖像、疊加圖像以及參考圖像可一次顯示在4個窗口的屏幕上。

參數

*1：根據需求選購。 *2：PHEMOS主單元重量包含一個探針或等效重量。