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Orzew FC20/FC20X全自動晶圓關鍵尺寸檢測及分選機
- 品牌：EVG
- 型號： Orzew FC20/FC20X
- 產地：歐洲 奧地利
- 供應商報價：面議
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岱美儀器技術服務（上海）有限公司
更新時間：2024-08-07 14:35:12 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業執照已審核
- 同類產品晶圓關鍵尺寸測量(1件)
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產品特點
- Dymek Orzew FC20使用無接觸式單側紅外干涉光傳感器，搭配標準真空吸附晶圓載臺，Dymek Orzew FC20X使用無接觸式點光譜共焦對射傳感器，搭配符合行業標準的三點支撐水平載臺，兩套系統均配有高速、高精度運動模組和晶圓機械手，滿足亞微米級的形 貌測量需求，可選裝配電阻率測試模塊，滿足更多樣化的量測需求，適應更多的晶圓制程。
詳細介紹
多種測量能力
?形貌測量
?晶圓分選
?電阻率測量
?關鍵尺寸檢測
自由選擇適配的測量方式
?Dymek Orzew FC20使用無接觸式單側紅外干涉光傳感器，搭配標準真空吸附晶圓載臺
?Dymek Orzew FC20X使用無接觸式點光譜共焦對射傳感器，搭配符合行業標準的三點支撐水平載臺
?兩套系統均配有高速、高精度運動模組和晶圓機械手，滿足亞微米級的形貌測量需求
?可選裝配電阻率測試模塊，滿足更多樣化的量測需求，適應更多的晶圓制程
厚度分布熱力圖和三維面型
?具備4，6，8寸晶圓檢測能力（12寸可選）
?全自動輸出測量結果
?自定義電阻率檢測輸出方式
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滬公網安備 31011502008050號