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美國福祿克 GFS 稱重法流量基準

品牌：美國福祿克
型號： GFS
產地：美洲美國
供應商報價：面議

福祿克測試儀器（上海）有限公司更新時間：2020-01-17 10:36:37

銷售范圍售全國

入駐年限第6年

營業執照已審核

同類產品GFS動態質量流量基準(1件)

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美國福祿克 GFS 稱重法流量基準

產品特點

覆蓋從 0.2 到 200 mg/s 的多種氣體量程（10 sccm 到 10 slm N2）
支持的氣體：無毒性的非腐蝕氣體
流量測量不確定度低至 ±0.013% 讀數
最大出口壓力：650 kPa 絕壓
使用質量和時間測量的主要重量原則
可以實現自動化的無人管理操作

詳細介紹

概述：

GFS? 提供了一種真正的主質量流量標準，并使得低氣體質量流速的基本測量真正可行。

覆蓋從 0.2 到 200 mg/s 的多種氣體量程（10 sccm 到 10 slm N2）
支持的氣體：無毒性的非腐蝕氣體
流量測量不確定度低至 ±0.013% 讀數
zui大出口壓力：650 kPa 絕壓
使用質量和時間測量的主要重量原則
可以實現自動化的無人管理操作

GFS 動態重力質量流量校準系統包括所需的電子質量天平、封殼和電子儀器，以準確實時測量損耗的
氣體質量和整個過程的持續時間。為了提高熱穩定性并抑制振動，請將天平放在一個大的花崗巖表面并使用通風的封殼將其包圍。在該系統中，通過增壓套筒提供測試氣體，增壓套筒置于天平上，系統會不斷地測量其質量，以確定測試過程中損耗氣體的質量和速度。通過連接到系統控制器的高速 USB 計數器/定時器來測量執行此測試所用的時間。該系統可以使用各種非腐蝕性氣體種類，只需抽離參考套筒中的氣體并對所選介質進行加壓。

已經開發了專用的基于 PC 的軟件程序 (GFSTools?)，用作儀器的中央控制以及用戶界面。系統會記錄測試輸出下天平和設備的離散值和平均值，然后計算結果并將其顯示為總質量和質量流量等項。對環境壓力、溫度和濕度以及平衡偏移的補充測量均由 GFSTools 執行。自動測試設置、數據報告和流量控制也由該程序進行處理。

GFS 通用技術規范
供電要求
天平	100 至 240 V 交流，50 至 60 Hz，zui大功率 27 W。功耗
LCM	100 至 240 V 交流，50 至 60 Hz，zui大功率 40 W。功耗
MFC-CB	85 V 至 264 V 交流，50 至 60 Hz，zui大功率 36 W。功耗
工作溫度范圍	15 到 25°C
濕度范圍	5 到 70% RH（非凝結）
重量
花崗石表面（含支架）	大約 320 kg (700 lb)
系統其余部分	大約 70 kg (150 lb)
尺寸
花崗石表面（含支架）外圍	150 cm 高 x 90 cm 寬 x 60 cm 深 (58 in. x 36 in. x 24 in.)
LCM	8 cm 高 x 22.5 cm 寬 x 20 cm 深 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.)
MFC-CB	8 cm 高 x 22.5 cm 寬 x 20 cm 深 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.)
GFS-FS	20 cm 高 x 41.4 cm 寬 x 20 cm 深 (7.9 in. x 16.3 in. x 7.9 in.)
支持的氣體	氮氣 (N2)、空氣、氬氣 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦氣 (He)、氧氣 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化碳 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟乙烷 (C2F6)、氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、六氟化硫 (SF6)、氙氣 (Xe)
流量測量范圍	至少：
He、H2	100 sccm 到 10 slm
所有其他氣體	10 sccm 到 10 slm
壓力連接件封殼的出口流量路徑	1/8” Swagelok 管裝置或等效裝置，使用 1/4” Swagelok 管裝置或等效裝置的適配器
參考氣體套筒壓力極限	20 MPa (3000 psi)
CE 認證證書	提供，必須指定