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國儀量子 SEM5000 PRO 熱場發射掃描電子顯微鏡 SEM

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詳細介紹

場發射掃描電鏡
SEM5000 PRO 


SEM5000 PRO 是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡。

先進的鏡筒設計,高壓隧道技術(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設計,實現了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互,優化的操作和使用流程,無論經驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務。


產品特點

01

分辨率高,低加速電壓下實現高分辨成像

02

電磁復合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀察磁性樣品

03

高壓隧道技術(SuperTunnel) ,在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應,低電壓分辨率得到保證

04

電子光路無交叉,有效的降低系統像差,提升分辨能力

05

水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩定性、可靠性和可重復性

06

磁偏轉六孔可調光闌,自動切換光闌孔,無需機械調節,實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換


產品參數


關鍵參數分辨率

0.9?nm @ 15 kV,SE
1.3 nm @ 1.0 kV,SE

0.8 nm @ 30 kV,STEM

加速電壓20 V ~ 30 kV
放大倍率1 ~ 2,500,000 x
電子槍類型肖特基場發射電子槍
樣品室真空系統全自動控制
攝像頭雙攝像頭
(光學導航+樣品倉內監控)

樣品臺行程

X: 125 mm,Y: 125 mm,Z: 50 mm
T: -10°~ +90°, R: 360°

(* 可選配超大倉體版本)

探測器和擴展標配鏡筒內高角度電子探測器
側向低角度電子探測器
選配

插入式背散射電子探測器
STEM自動插入式掃描透射探測器
樣品交換倉
高速束閘和電子束曝光
EDS能譜儀
EBSD背散射衍射
EBIC電子束感生電流
CL陰極熒光
高低溫原位拉伸臺
納米機械手
大圖拼接

軌跡球 & 旋鈕控制板

軟件語言中文
操作系統Windows
導航光學導航、手勢快捷導航
自動功能自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散


截屏2024-04-29 上午9.26.54.png截屏2024-04-29 上午9.27.05.png

截屏2024-04-29 上午9.37.10.png


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