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液冷制冷機
- 品牌：上海普泰克制冷
- 型號： PTLQ
- 產地：上海 金山區
- 供應商報價：面議
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普泰克(上海)制冷設備技術有限公司
更新時間：2025-04-17 15:52:06 -
銷售范圍售全國
入駐年限第2年
營業執照已審核
- 同類產品制冷機（氣體-液冷-直冷）(31件)
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產品特點
- 應用于晶圓測試的高低溫冷熱臺（晶圓測試載物臺）chuck的加熱制冷控溫，載冷劑采用硅油或氟化液循環精確控溫，液冷制冷機主要由加熱循環系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成?？刂葡到y采用PID控制技術，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件。
詳細介紹
設備控溫范圍：-80℃~200℃
Chuck盤面控制溫度：-60℃
溫度穩定性：±0.1℃
制冷系統：采用雙極壓縮制冷系統
定制：可按要求定制-60℃液冷制冷機
型號 液冷制冷機 設備名稱 PTHC系列低溫液冷機 制冷方式 雙級復疊制冷 操作面板 7英寸彩色觸摸屏，中文顯示，操作簡便 、顯示直觀， 可顯示 、記錄 溫度曲線和測試數據 載冷劑 氟化液或硅油 全密閉系統 管道材質：SUS304，采用全密閉式結構設計 介質溫度范圍 -80℃ ~ 200℃ 溫度精度 出口溫度±0.5 ℃ 溫度穩定性 ± 0.1 ℃ 溫度反饋 設備導熱介質溫度反饋PT100 (回口溫度 、 出口溫度) ，控晶圓測試chuck盤溫度 控溫對象 設備導熱介質出口溫度 (可選擇控制物料溫度) 顯示分辨率 0.01K 通信協議 MODBUS RTU協議、RS 485接口+以太網接口 外部輸入 外置測溫傳感器端口 、USB數據接口 存儲功能 試驗執行時， 可實時顯示圖形曲線， 顯示內容；溫度設定實際值，執 行程序周期，程序執行中具有跳文件，保持功能。 冷凝方式 風冷 安全防護 設備運行狀態實時顯示，故障信息自動診斷， 多項報警保護： 電源故 障 ，壓縮機過載 、循環泵熱過載 、制冷低壓報警 、 制冷高壓報警 、超 溫 、溫度模塊故障 、 電加熱防干燒設計等保護功能。
滬公網安備 31011502008050號