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瑞士Safematic電鏡制樣設備CCU-010 LV_CT-010熱蒸發鍍碳儀

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緊湊型、模塊化和智能化
CCU-010 LV_CT-010為一款結構緊湊、全自動型的熱蒸發鍍碳設備,使用非常簡便。采用獨特的插入式設計,可選通過簡單地變換鍍膜頭就可輕松配置為濺射設備。在鍍膜之前和/或之后,可以進行等離子處理。模塊化設計可輕松避免交叉污染。CCU-010系列鍍膜儀標配膜厚監測裝置。

特點和優點
?高性能熱蒸發鍍碳和等離子處理
?專有的自動碳源卷送設計–多達數十次碳鍍膜,無需用戶干預

?獨特的即插即用蒸碳鍍膜模塊
?yi流的真空性能和快速抽真空
?結構緊湊、可靠且易于維修
?雙位置膜厚監控裝置,可兼容不同尺寸的樣品

巧妙的真空設計
CCU-010 LV_CT-010精細真空鍍膜系統專為SEM和EDX的常規高質量鍍碳而設計。模塊化的設計可將低真空單元后續很輕松地升級為高真空單元。特別選擇和設計的材料、表面和形狀可大大縮短抽真空時間。兩個附加的標準真空法蘭允許連接第三方設備。

CT-010碳蒸發模塊
緊湊的插入式碳蒸發模塊為鍍碳樹立了新標桿。將該頭插入CCU-010 LV鍍膜主體后,即可立即使用,適合SEM/EDS等需要高質量碳膜應用的場合。CT-010使用歐洲專有的、獨特且技術領先的碳繩卷軸系統,可在一次真空下進行多達數十次涂層的鍍膜,而無需更換碳源。一段碳繩蒸發后,新的一段會自動前進,用過的碳繩會掉落到方便的收集盤中。除了易于使用外,自動卷軸系統還允許在一個鍍膜循環內可控地沉積幾乎任何厚度的碳膜。易于選擇的鍍膜模式可保障鍍膜安全,從對溫度敏感的樣品進行溫和的蒸鍍薄碳膜到在中厚碳膜層應用時的高功率閃蒸鍍碳。整合脈沖蒸發、自動啟動擋板后除氣及膜厚監控的智能電源控制提供了精確的碳膜厚度,并可避免火花引起的表面不均勻。

GD-010輝光放電模塊
可選的GD-010輝光放電系統可快速安裝,通過空氣、氬氣或其它專用氣體進行表面處理,例如,使碳膜親水。本機可按順序進行碳鍍膜和輝光放電處理,無需“破”真空或更換處理頭,極大地簡化了操作過程。本單元安裝到CT-010,與所有樣品臺兼容。

ET-010等離子刻蝕單元
在對樣品進行鍍膜之前或鍍膜之后,可以對樣品進行等離子刻蝕處理。使用該附件,可以選擇氬氣、其它蝕刻氣體或大氣作為處理氣體。這樣可以在鍍膜前清潔樣品,增加薄膜的附著力。也可在樣品鍍碳后進行等離子處理,從而對碳膜表面進行改性。

RC-010手套箱應用的遠程控制軟件
◎基于window的遠程控制軟件
◎創建和調用配方
◎實時圖表,包含導出功能(Excel、png等)
◎自動連接到設備

可選多種樣品臺
CCU-010提供了一個直徑不小于60mm的樣品臺,該樣品臺插入到高度可調且可傾斜的樣品臺支架上。可選其它專用的旋轉樣品臺、行星臺、載玻片樣品臺等。

CCU-010 LV系列鍍膜儀版本
除了CCU-010 LV熱蒸發鍍碳儀之外,還可選擇:CCU-010 LV磁控離子濺射鍍膜儀;CCU-010 LV離子濺射和鍍碳一體化鍍膜儀;CCU-010 LV手套箱專用鍍膜儀。所有CCU-010 LV系列鍍膜儀均采用TFT 觸摸屏操控,配方可編程,保證結果可重復;具有斷電時系統自動排氣功能,可防止系統被前級泵油污染。


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