類型

控制器

工作頭

VR-6200, VR-6100

觀察視野

低倍（大視野）

15 英寸顯示器上的倍率 12×

橫向

24.0 mm

縱向

18.0 mm

15 英寸顯示器上的倍率 25×

橫向

12.0 mm

縱向

9.0 mm

15 英寸顯示器上的倍率 38×

橫向

8.0 mm

縱向

6.0 mm

15 英寸顯示器上的倍率 50×

橫向

縱向

4.5 mm

高倍（高分辨率）

15 英寸顯示器上的倍率 40×

橫向

7.6 mm

縱向

5.7 mm

15 英寸顯示器上的倍率 80×

橫向

3.8 mm

縱向

2.9 mm

15 英寸顯示器上的倍率 120×

橫向

2.5 mm

縱向

1.9 mm

15 英寸顯示器上的倍率 160×

橫向

縱向

1.4 mm

變焦

1 至4 倍

高度測量

顯示分辨率

0.1 μm

高度測量 范圍

無Z 連接

低倍（大視野）: 10 mm
高倍（高分辨率）: 1 mm

有Z 連接

低倍（大視野）: 50 mm
高倍（高分辨率）: 30 mm

重復精度 σ

無Z 連接

0.4 μm *1

有Z 連接

1.0 μm *1

正確性

無Z 連接

±2.5 μm *1

有Z 連接

±4.0 μm *1

寬度測量

重復精度σ

低倍（大視野）: 1 μm
高倍（高分辨率）: 0.5 μm
*1

正確性

低倍（大視野）: ±5 μm
高倍（高分辨率）: ±2 μm
*1

圖像拼接功能

VR-6200: 全自動測量（XY 自動控制+Z 自動控制、θ 自動控制）、自動創建MAP 圖像、自動設定區域 *2
VR-6100: 手動測量（XY 手動移動+Z 自動控制） *2

圖像拼接功能

電動旋轉單元

VR-6200: 支持 *2
VR-6100: 不支持

XY 可測量范圍

VR-6200: 300 × 150 mm *2
VR-6100: 92 × 86 mm *2

載物臺

XY 行程

VR-6200: 278 × 134 mm（電動）
VR-6100: 70 × 70 mm（手動）

Z 行程

69 mm（電動）

承受負重

4.5 kg

動作距離

75 mm

拍攝元件

1 英寸400 萬像素單色CMOS

投光鏡頭

雙遠心鏡頭×2

受光鏡頭

雙遠心鏡頭

照明系統

觀察用光源

LED 環形照明（紅、藍、綠）

測量用光源

白色LED

數據處理部

基恩士指定專用電腦（操作系統為Windows 10 Pro）

電源

電源電壓

AC100 ～ 240 V ±10％ 50/60 Hz

消耗功率

200 VA 以下

環境抗耐性

環境溫度

＋ 15 ～ 30℃

相對濕度

20 至80%RH（無凝結）

重量

約4 kg