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真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī),勻膠機(jī)

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詳細(xì)介紹

VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)腔體不可抽真空,工作時(shí)利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設(shè)備可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同,使設(shè)備緩慢提升速度至極限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會(huì)過多浪費(fèi),節(jié)約材料。腔室的上蓋可以對樣品進(jìn)行加熱(可選功能),有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆過程的進(jìn)行。VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程。1、設(shè)有12組程序,每組包含6個(gè)運(yùn)行階段,每段增減速率設(shè)置范圍:100—2000rpm/s,每段時(shí)間范圍:0—60s。
2、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
3、吸盤真空度可以達(dá)到-0.08MPa。
4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。
5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
6、電機(jī)采用24V直流無刷電機(jī),無級調(diào)速,可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡單,噪音低,震動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動(dòng)快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
7、本機(jī)可置于手套箱內(nèi)使用,但控制部分與真空泵需置于箱外。
8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進(jìn)行涂層。
9、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。
10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能。
11、全英文操作系統(tǒng)。
12、具有開蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止
13、控制器采用單控制箱,液晶顯示數(shù)值,更直觀可靠。

產(chǎn)品名稱 VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
產(chǎn)品型號
VTC-200P
安裝條
本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:不需要
4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
5、通風(fēng)裝置:需要
主要參數(shù)
1、電源:220V 50HZ
2、電機(jī)功率:360W/24V
3、轉(zhuǎn)速:500rpm-6000rpm之間可調(diào)
4.可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段,
5、每段增減速率設(shè)置范圍:100 rpm s—2000 rpm /s,每段時(shí)間范圍:0-60s
6、吸盤規(guī)格φ100mm
7、本機(jī)可選配加熱功能:加溫范圍RT-100℃
加熱蓋,水槽及吸盤采用聚丙烯材質(zhì)
溫度單獨(dú)控制,與主機(jī)程序控制無關(guān)聯(lián)
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸:φ250mm×360mm;
重量:20kg

序號 名稱 數(shù)量 圖片鏈接
1

φ100mm真空吸盤


1個(gè)

2 O型膠圈
1個(gè)

3 中心定位器(含4個(gè)定位柱)
1個(gè)

4 滴膠注射器(20ml)
1個(gè)
5 注射器支架
1個(gè)
6 無油真空泵
1個(gè)

序號
名稱
功能類別
圖片鏈接
1 其它尺寸的真空吸盤
(可選)

2
國產(chǎn)移液槍
(可選)

3
進(jìn)口移液槍
(可選)

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