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日立 VS1800 納米尺度3D光學干涉測量系統
- 品牌：日立
- 型號： VS1800
- 產地：亞洲 日本
- 供應商報價：￥2000000
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上海愛儀通網絡科技有限公司
更新時間：2025-05-06 09:08:24 -
銷售范圍售全國
入駐年限第4年
營業執照已審核
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詳細介紹
高分辨率、大范圍
采用特別開發的算法，實現垂直方向分辨率0.01 nm（Phase模式下）。由于無需依賴于物鏡的倍率即可實現較高的垂直方向分辨率，即使是大范圍（zui大測量視野6.4 mm × 6.4 mm）的情況下，也能測量納米尺度的粗糙度、高差。
Wafer研磨表面形貌（表面粗糙度Sa 0.58 nm）
測量數據的重現性高
高度測量使用干涉條紋，將Z驅動產生的影響控制在zui小程度，從而實現測量重現性誤差低于0.1%（Phase模式下）。
高速測量
通過以平面捕捉樣品，不對X、Y方向進行掃描，從而實現高速測量，并且由于采用非接觸方式，測量時能夠保證不會給樣品帶來損傷。無損傷測量
對于以往切割樣品后形成截面來對多層膜層結構及層內部進行的異物測量，VS1800能夠以無損傷方式進行。對于透明層結構樣品，利用透鏡的高度坐標以及各界面產生的反射光，通過各光學界面出現的干涉條紋輸出虛擬截面圖像。測量簡單
搭載有可直觀性使用的操作畫面，可以當場確認處理后的圖像。可以簡單地將處理及分析內容列表、生成原始分析庫、重復使用分析庫等。還支持數據的批量處理，統一管理多個樣品及分析結果，減輕繁雜的后處理程序。
此外，導入表面形貌評估方法的國際標準ISO25178的項目，自動按每個樣品選擇合適的參數。VS1800搭載有可對參數選擇提供建議的工具，有助于提高管理的精度。配置靈活
手動XY樣品臺為基本型號Type 1，并提樣品臺電動化逐級提升的Type 2以及Type 3。各型號的升級可通過需求來進行，根據用途輕松引進系統
課題① “對于微細化樣品的表面形貌，需要納米尺度且高分辨率的測量手段”
目前，測量表面形貌所要求的分辨率在不斷地提高。納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800應用了別具一格的光干涉現象測量算法，垂直方向分辨率高達0.01nm。能在納米尺度并且高分辨率的情況下測量樣品表面形貌，遠遠超過激光掃描顯微鏡（LSM）的觀察范圍。
課題②“希望在大范圍也可以實現高分辨率測量”
如果要用激光掃描顯微鏡（LSM）測量大范圍的表面形貌，一般使用低倍率的透鏡，所以垂直方向分辨率不夠。納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800無需依賴于物鏡的倍率，即可實現較高的垂直方向分辨率。進行大范圍的測量時，也可以測量納米尺度的粗糙度、高差（zui大測量視野6.4 mm × 6.4 mm）。
課題③“希望能快速測量，以應對不斷增加的樣品”
激光掃描顯微鏡（LSM）可以對樣品X、Y、Z三個方向進行掃描以測量表面形貌。納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800則以垂直方向選取不同平面來捕捉樣品信息，因此僅對Z方向進行掃描。僅需幾秒鐘即可完成測量到分析的整個過程。可以縮短測量時間，高效處理大量的樣品。
解決課題的關鍵
以上對納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800的優點進行了總結。與激光掃描顯微鏡（LSM）相比，其zui大的優點就是可以滿足高精度，高速，大范圍的樣品測試。
納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800 激光掃描顯微鏡（LSM） 測量方式 白光干涉掃描法 激光掃描共聚焦法 垂直方向分辨率 0.01 nm（Sq分辨率）
※使用光干涉條紋測量尺0.5 nm（顯示分辨率）
※Z軸依賴馬達驅動分辨率為10nm左右高差重現性（Z軸） 1σ0.6 nm
（5倍測量1 μm高差時）1σ12 nm
（50倍測量2 μm高差時）測量速度 從測量到分析zui快只需5秒鐘
（測量5 μm高度時）
僅掃描一個方向（Z軸）進行測量約20秒鐘
（測量5 μm高度時）
掃描三個方向（X、Y、Z）進行測量納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800的測量實例
材料加工領域的各種觀察例多層膜的異物/混入觀察例電鍍觀察例摩擦學性能評估示例
材料加工領域的各種觀察例
在材料，加工行業廣泛經營的紙質產品及樹脂產品，為滿足所要求的功能，均作了各種各樣的研究。因此，表面形貌及表面粗糙度的測量在質量管理方面起著關鍵作用。此外，當多層膜等產品出現不良時，需要查明表面、界面或層內哪個部位出現問題，并且很多情況下根據不同樣品，還要求進行無損傷測量。
下面介紹材料加工行業中使用納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800進行各種測量的實例。光學薄膜測量實例1 顯示器用薄膜顯示器用薄膜的表面作了各種加工，以保持防反射、防止指紋造成的污染等功能性。VS1800不僅針對平滑的薄膜表面，對于像亞光膜表面那樣凹凸不平的樣品，也能以較高的重現性進行測量。
測量實例2 顆粒鍍膜顆粒填料用于改善表面的防眩性，以及控制與其他表面粘合的性能，其形狀、大小及密度等的測量是必不可少的項目。VS1800不僅可以觀察形狀，還能利用大小及數量等的分析功能進行評估。
包裝膜包裝膜通過層壓具有阻隔性等功能的材料層，防止內裝物劣化。因此，比如了解該材料層的膜厚是否可以表現其功能等，對材料各層的膜厚管理非常重要。VS1800不僅可以評估表面粗糙度，還能以無損傷方式顯現層內部的結構，評估各層的厚度及厚度不均勻程度，因此有助于包裝膜的質量管理。
測量實例1
測量實例2
高分子材料無論表面是什么材質，VS1800都能以較高的分辨率測量高度，對于如高分子材料之類透明薄膜的高差等也能進行高精度測量。 此外，關于VS1800的界面分析，對于透明材料多層層壓時發生的氣泡不良等現象，能以無損傷方式進行評估，因此無需制作截面，即可確認哪個層發生了異常。
測量實例1 玻璃基板上高分子膜的高差
測量實例2 膠帶粘貼面
纖維材質表面VS1800具有發揮高速、高分辨率功能的“標準測量模式”，以及可測量光反射微弱的斜面之“大傾斜角測量模式”，除了像光面紙之類的平滑表面，還能對名片表面等粗糙的纖維材質表面進行測量，測量范圍廣泛。
測量實例1 光面紙
測量實例2 名片印刷面
可根據用途，以合理的預算引進本產品
規格
技術指標
機型 Type 1 Type 2 Type 3 Z軸 馬達驅動 標配（Z軸移動范圍～10㎜） PZT驅動 新增選配（Z軸移動范圍～150 μm） XY樣品臺 驅動方式 手動 電動 移動范圍 ± 50 mm ± 75 mm 樣品臺尺寸 W205 × D150 mm W225 × D225 mm 測角臺 驅動方式 手動 電動 移動范圍 ± 2° ± 5° 測量相機 標準相機或高像素相機 鏡筒 × 1或 × 0.5 變焦透鏡 × 0.7透鏡（新增選配） 物鏡 × 2.5 × 5 × 10 × 20 × 50 × 110 樣品高度 標準 0～50 mm 使用加高配件時 50～100 mm 0～100 mm 電腦OS Windows 10 減震臺（帶支架） 被動式或主動式 軟件一覽
標配 新增選配 測量軟件 表面形貌測量 大傾斜角測量 分析軟件 ISO參數（參照ISO25178）
輪廓分析、頻帶分解
負荷曲線分析、顆粒分析
熱歐姆轉換、線段分析界面分析、層面分析
截面面積、線測量
滬公網安備 31011502008050號