日本RION粒子傳感器：KS-41A ( 光阻專用）

可檢測光阻產品、SOG 等產品中 0.15um 的顆粒。

光源：鐳射二極管（波長830nm，額定輸出200mW)
接觸樣品部件材料：人造石英 PFA

流量：10mL/min

設定范圍：0.15μm~0.5μm,通過 KE-40B1 的控制器可擴充至 10 個通道
粒徑范圍（4個通道，出廠默認）：≥0.15μm， ≥0.2μm ，  ≥0.3μm ，  ≥0.5μm
最 大粒子數濃度：1 200 顆/L （誤差值低于5%）
采樣管直徑：外徑：φ16mm, 內徑：φ12mm
電源：DC12V,(由KE-40B1供應）
尺寸和重量：約：H160*W300*D251 (mm),  約重7.5kg

綜合泄漏傳感器與報警輸出
? 客戶可在此測量范圍內自行選擇粒徑通道（通過 KE-40B1）

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