探針式輪廓儀（臺階儀）

Alpha-Step D500 /D600

采用新型光學反射探測系統測量高度，同時應用電磁力控制探針壓力，能有效實現超微力和低慣量。探針的接觸式測量技術的優點是直接測量，與材料特性無關。多種力度調節和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結構改變引起的粗糙度和應力變化。

技術特點

◆ 優秀的重復性和再現性

◆ 接觸式測量，適用于多種材料

◆ 測量軟材料的微力控制

◆ 梯形失真校正可消除側視視圖造成的失真

◆ 弧形校正補償探針的弧形運動

應用范圍

﹢  2D/3D 表面形貌掃描

﹢  納米至1200μm臺階高度測量

﹢  粗糙度和波紋度測量

﹢  樣品翹曲和曲率半徑測量

﹢  2D薄膜應力測量