ETD-600MS微型磁控濺射儀是我公司研發生產的一款經濟實用袖珍型鍍膜設備，更適合各科研及教育機構實驗室的中試需求。

配置參數如下：

儀器尺寸：480mmWx320mmDx240H

工作腔室：硼硅酸鹽玻璃180mmDx200mmH

真空系統：渦輪分子泵，抽速為80L/s,前級機械泵抽速為2L/s帶防反油電磁閥及油污過濾器

真空測量：采用復合真空計檢測真空

極限真空度：優于5X10^-4Pa

工作真空度：5X10^-1Pa（濺射真空度手動調節）

濺射工作氣體：氬氣

工作電壓：0-800V

濺射電流：0-500mA

電源：230V/50Hz(包括泵最大電流為6安培）

靶材：D60-80mm多種弱磁靶

選配項：氣體質量流量計，冷水機，可根據用戶要求進行功能改裝