半自動(dòng)真空低溫探針臺(tái)使晶圓和器件在低溫下9k(singleCCR系統(tǒng))、4.5K(dualCCR系統(tǒng))甚至低于4K(triple CCR系統(tǒng))的情況下能夠快速、經(jīng)濟(jì)地進(jìn)行測試。低溫探針臺(tái)，設(shè)計(jì)用于支持在真空或氣體環(huán)境中對高達(dá)100mm、150mm或高達(dá)300mm的晶圓進(jìn)行自動(dòng)動(dòng)或半自動(dòng)測試。 系統(tǒng)精度高、成本低、噪音低、使用方便。系統(tǒng)建立在一個(gè)振動(dòng)補(bǔ)償?shù)亩喙δ芷脚_(tái)上，能夠配置來各種測試應(yīng)用程序。

  · 可用于高達(dá)100mm、150mm和200mm的晶圓測試

                                                               · 可配置4或6個(gè)探針臂。

                                                               · 還可以選擇探卡進(jìn)行測試

                                                               · 顯微鏡選擇包括7:1,12.5:1和16:1數(shù)碼變焦顯微鏡

                                                               · BNC, Triax, DC pin ａnd RF 可選

                                                               · 用于探針微米定位的高分辨率探針臂

                                                               · Isolated, grounded, coaxial or triaxial chuck可選

                                                               · RF選件包括可定制的RF探頭、RFchunk和屏蔽罩系統(tǒng)

                                                               · 具有良好的隔振性能