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韓國(guó)Nanoscope Systems 大面積高速3D激光掃描儀NS3500L

  • 品牌:Nanoscope System
  • 型號(hào): NS3500L
  • 產(chǎn)地:亞洲 韓國(guó)
  • 供應(yīng)商報(bào)價(jià):面議
  • 泰州新飛光電有限公司 更新時(shí)間:2024-09-04 15:05:50

    銷(xiāo)售范圍售全國(guó)

    入駐年限第5年

    營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核

    同類(lèi)產(chǎn)品NS3500 L(1件)

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韓國(guó)Nanoscope Systems 大面積高速3D激光掃描儀NS3500L 核心參數(shù)
激光波長(zhǎng) 405nm 激光功率 2 mW
放大倍數(shù) 10-150X 水平分辨率 140nm
Z軸分辨率 20nm

產(chǎn)品特點(diǎn)

NS-3500L 是一種準(zhǔn)確、可靠的三維(3D)測(cè)量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu),可以為半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等提供各種解決方案。

詳細(xì)介紹

NS3500L 大面積高速3D激光掃描儀

NS-3500L 是一種準(zhǔn)確、可靠的三維(3D)測(cè)量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu),可以為半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等提供各種解決方案。

NS3500 L.png

Features & Benefits(性能及優(yōu)勢(shì)):

  • 高分辨無(wú)損傷光學(xué)3D測(cè)量                               自動(dòng)傾斜補(bǔ)償

  • 實(shí)時(shí)共焦成像                                                 簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)分析模式

  • 多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

    大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測(cè)

  • 實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像                            無(wú)樣品準(zhǔn)備

  • 自動(dòng)聚焦


Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):

NS-3500是測(cè)量低維材料的有前途的解決方案。

可測(cè)量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

-半導(dǎo)體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測(cè),CMP工藝

- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測(cè),ITO圖案,LCD柱間距高度

- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽(yáng)能電池,太陽(yáng)能電池紋理,激光圖案

-材料研究:模具表面檢測(cè),粗糙度,裂紋分析


Specification(規(guī)格):

Model

Microscope  NS-3500

備注


Controller    NS-3500E

物鏡倍率

10x

20x

50x

100x

150x


觀察/  測(cè)量范圍  

水平 (H): μm

1400

700

280

140

93


垂直 (V): μm

1050

525

210

105

70


工作范圍: mm

16.5

3.1

0.54

0.3

0.2


數(shù)值孔徑(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95

0.95


光學(xué)變焦

x1 to x6


總放大倍率

178x to 26700x


觀察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)  

針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)


高度測(cè)量

測(cè)量掃描范圍

精細(xì)掃描 : 400 μm (and/or) 長(zhǎng)掃描 : 10 mm [NS-3500-S]


長(zhǎng)掃描 : 10mm [NS-3500-T]

顯示分辨率

0.001 μm


重復(fù)率 σ

0.010 μm

注 1

寬度測(cè)量

顯示分辨率

0.001 μm


重復(fù)率 3σ

0.02 μm

注 2

幀記憶

像素

1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


單色圖像

12 bit


彩色圖像

8-bit for RGB each


高度測(cè)量

16 bit


幀速率

表面掃描

20 Hz to 160 Hz


線掃描

~8 kHz


自動(dòng)功能

自動(dòng)增益


激光共焦測(cè)量光源

波長(zhǎng)

 405nm


輸出

~2mW


激光等級(jí)

Class 3b


激光接收元件

PMT (光電倍增管)


光學(xué)觀察光源

10W LED


光學(xué)觀察照相機(jī)

成像元件

1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器


記錄分辨率

640x480


自動(dòng)調(diào)整

增益, 快門(mén)速度, White balance


數(shù)據(jù)處理單元

 PC


電源

電源電壓

100 to 240 VAC, 50/60 Hz


電流消耗

500 VA max.


重量

顯微鏡

Approx. ~50 kg

(Measuring head unit : ~12 kg)


控制器

~8 kg



注 1 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品(步長(zhǎng)1μm)進(jìn)行100次測(cè)量                                                                   

注 2 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品(5μm間距)進(jìn)行100次測(cè)量。


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