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真空快速退火爐/德國Unitemp/VPO-300

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詳細(xì)介紹

                                                                      12寸快速退火爐/高真空快速退火爐

  • 快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。

  • 詳細(xì)介紹

  • 快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。

    VPO-300是一款很有特點(diǎn)的快速退火爐,有非常大的退火空間,適合大尺寸樣品的熱處理。


    儀器特點(diǎn):

    - 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA;

    - 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用;

    加熱區(qū)域尺寸:300毫米 X 300毫米;

    - 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝,如156mm X 156mm電池片,300mm X 300mm電池片等;



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