美國sual深能級瞬態譜 DLTS

我們在1990年推出了首臺數字DLTS，隨著電腦技術的發展，使得在短時間內進行復雜計算成為可能。在純指數發射過程模型的基礎上，用各種數學模型分析測量到的瞬態過程，如傅里葉轉換、拉普拉斯換、多指數瞬態擬合、ITS（等溫瞬態光譜）信號重疊法、溫度掃描信號重疊法（重折疊）。與其他系統相比，HERA-DLTS具有無法比擬的能量分辨率。

特點

l 自動接觸檢查

l  常規測試和加強軟件

l  自動電容補償

l  三終端FET電流瞬態測量

l  大電容和濃度范圍

l  靈活性高、模塊化硬件

l  支持各種冷卻倉和溫度控制器

l  傅里葉轉換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能

l  DLTFS（深層瞬態傅里葉光譜儀）評價

l  直接測量發射瞬態

l  使用28個不同的相關功能（軟件）通過一次溫度掃描，給出28個溫度掃描信號

操作模式

l  C-DLTS(電容模式)

l  CC-DLTS(定電容模式)

l I-DLTS（電流模式）

l  DD-DLTS（雙關聯模式）

l  Zerbst-DLTS

l  O-DLTS（光激發模式）

l  FET-Analysis

l  MOS-Analysis

l  ITS（等溫瞬態光譜儀）

l  缺陷分析

l  俘獲截面測量

l  I/V, I/V(T) 查理森Plot分析

l  C/V, C/V(T)

l  TSC/TSCAP

l  PITS（光子誘導瞬態譜）

l  DLOS(特殊系統)