智能化設計與操作體驗

7英寸高分辨率觸控屏：支持實時數據可視化與交互操作，簡化流程。

雙電池熱插拔系統?：支持連續生產場景下的不間斷作業，電池更換無需停機。

USB數據接口與軟件升級?：便捷導出檢測報告，并可通過固件更新持續優化性能。

提升制造效率

減少50%自凈時間?：通過量化表面污染數據，縮短設備維護周期（PM周期），提升產線吞吐量。

延長MTBC：結合顆粒控制策略，關鍵設備可靠性提升4倍以上。

覆蓋高潔凈場景

半導體制造：晶圓表面、機臺內腔等關鍵區域的潔凈度驗證。

精密光學與電子：液晶面板、光學鏡片組件、醫療器械的表面污染控制。

符合國際標準

產品嚴格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規范，為半導體廠商提供標準化檢測工具。

產品參數

測量粒徑

A    0.3um、2.5um、10um;                            

B     0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0）um、10um;

C    0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um;      

D    0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;

E    0,5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um;   

F    0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm;

1、粒徑分布誤差：≤±30%

2、濃度示值誤差：≤±30%

3、重復相對偏差：≤±10%FS

4、重疊誤差：≤5%

5、氣體檢測：可測氣體濃度（可選配）

6、溫度范圍：-40 ～ 120℃

7、氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；

8、采樣時間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；

9、檢測模式：數量模式；質量模式； 凈效模式；

10、檢測方式：定時檢測、循環檢測可設置     

11、法 規 性：權限管控、審計追蹤、電子記錄等

12、通訊接口：RS232、R485、LAN-USB

13、存儲模式：實時、定時存儲可設置；無限制

14、打印模式：可選配微型打印機打印數據

15、工作條件：5 ～ 45℃、≤90%RH，無冷凝

16、多種探針可供選擇