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真空箱式氣氛爐 真空氣氛燒結爐 1200-1700度精密氣氛箱式爐

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產品特點

精密氣氛箱式爐是一種在可控氣氛環境下進行高溫處理的工業設備,廣泛應用于需要精確控制氣氛和溫度的工藝中。

詳細介紹

應用領域

1. 材料科學研究  

   - 用于新材料(如陶瓷、金屬合金、復合材料)的燒結、退火、熱處理等實驗。  

   - 半導體材料的氧化、擴散工藝。  

2. 新能源領域  

   - 鋰電正負極材料(如磷酸鐵鋰、三元材料)的合成與燒結。  

   - 燃料電池關鍵部件(如固體氧化物電解質)的制備。  

3. 金屬加工  

   - 不銹鋼、鈦合金等的光亮退火,避免氧化。  

   - 硬質合金(如鎢鋼)的真空或保護氣氛燒結。  

4. 電子陶瓷與玻璃  

   - MLCC(多層陶瓷電容器)、壓電陶瓷的燒結。  

   - 特種玻璃的精密退火。  

5. 粉末冶金  

   - 金屬或陶瓷粉末的成型與燒結,如MIM(金屬注射成型)工藝。  

6. 半導體與光伏  

   - 硅片的熱處理、氮化工藝。  

   - 光伏硅材料的摻雜與鈍化。  

 

技術特點

1. 精確的氣氛控制  

   - 可通入惰性氣體(N?、Ar)、還原性氣體(H?)、混合氣體(如H?/N?)或真空環境,氧含量可控制在ppm級。  

   - 配備氣體流量計、壓力傳感器和排氣凈化系統。  

2. 高均勻性與穩定性  

   - 采用多區加熱設計(如上下獨立控溫),爐溫均勻性可達±1~5℃。  

   - PID智能控溫,精度±0.1℃,支持程序升溫(如10段曲線編程)。  

3. 先進的結構設計  

   - 雙層爐殼+風冷結構,外壁溫度≤50℃。  

   - 密封爐體(法蘭或波紋管密封),漏率<0.01 mbar·L/s。  

   - 可選配石英管、剛玉坩堝或石墨爐膛。  

4. 安全與自動化  

   - 過溫、超壓、斷氣保護,氣體泄漏報警。  

   - 觸摸屏或遠程控制(PC/PLC),支持數據記錄與導出。  

5. 擴展功能  

   - 可選配快速冷卻系統(如水冷夾套)、CVD(化學氣相沉積)模塊或真空泵組。  

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