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真空箱式氣氛爐 真空氣氛燒結爐 1200-1700度精密氣氛箱式爐
- 品牌:上海鉅晶
- 型號: SQFL
- 產地:上海 嘉定區
- 供應商報價:面議
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上海鉅晶精密儀器制造有限公司
更新時間:2025-04-15 16:01:32
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銷售范圍售全國
入駐年限第1年
營業執照已審核
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產品特點
- 精密氣氛箱式爐是一種在可控氣氛環境下進行高溫處理的工業設備,廣泛應用于需要精確控制氣氛和溫度的工藝中。
詳細介紹
應用領域
1. 材料科學研究
- 用于新材料(如陶瓷、金屬合金、復合材料)的燒結、退火、熱處理等實驗。
- 半導體材料的氧化、擴散工藝。
2. 新能源領域
- 鋰電正負極材料(如磷酸鐵鋰、三元材料)的合成與燒結。
- 燃料電池關鍵部件(如固體氧化物電解質)的制備。
3. 金屬加工
- 不銹鋼、鈦合金等的光亮退火,避免氧化。
- 硬質合金(如鎢鋼)的真空或保護氣氛燒結。
4. 電子陶瓷與玻璃
- MLCC(多層陶瓷電容器)、壓電陶瓷的燒結。
- 特種玻璃的精密退火。
5. 粉末冶金
- 金屬或陶瓷粉末的成型與燒結,如MIM(金屬注射成型)工藝。
6. 半導體與光伏
- 硅片的熱處理、氮化工藝。
- 光伏硅材料的摻雜與鈍化。
技術特點
1. 精確的氣氛控制
- 可通入惰性氣體(N?、Ar)、還原性氣體(H?)、混合氣體(如H?/N?)或真空環境,氧含量可控制在ppm級。
- 配備氣體流量計、壓力傳感器和排氣凈化系統。
2. 高均勻性與穩定性
- 采用多區加熱設計(如上下獨立控溫),爐溫均勻性可達±1~5℃。
- PID智能控溫,精度±0.1℃,支持程序升溫(如10段曲線編程)。
3. 先進的結構設計
- 雙層爐殼+風冷結構,外壁溫度≤50℃。
- 密封爐體(法蘭或波紋管密封),漏率<0.01 mbar·L/s。
- 可選配石英管、剛玉坩堝或石墨爐膛。
4. 安全與自動化
- 過溫、超壓、斷氣保護,氣體泄漏報警。
- 觸摸屏或遠程控制(PC/PLC),支持數據記錄與導出。
5. 擴展功能
- 可選配快速冷卻系統(如水冷夾套)、CVD(化學氣相沉積)模塊或真空泵組。